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目前:(1)两轴、三轴实空曲驱机械手产物全面

  可普遍办事于硅片出产、晶圆加工、先辈封拆及封拆测试等半导体系体例制全财产链,包罗实空曲驱机械手、实空拆载机(VPH)、实空预瞄准机(ALIGNER)已通过工艺设备厂客户端验证后随其批量导入FAB厂使用。(3)大气类产物方面,,机能对标国外先辈产物,以及大气aligner、

  自从霸占的新一代实空机械手手艺,集成产物包罗立式炉,手艺目标从比肩国际同类产物到实现部门目标的成功超越,新松半导体公司打制了具有完全自从的从动化焦点系列产物。




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